遼寧東儀自控技術(shù)股份有限公司為您提供氣體流量計(jì)介紹。 m20系列韓國line tech氣體流量計(jì)的詳細(xì)資料:
韓國line tech m20系列氣體流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)可以在高壓或真空條件下工作,其操作使用方便,可任意位置安裝調(diào)試,并-的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。典型的場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如、氧化、cvd、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、;以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。
韓國line tech m20系列氣體流量計(jì)主要用于測(cè)量以下介質(zhì),高爐煤氣流量計(jì),焦?fàn)t煤氣流量計(jì),煤氣,空氣,氮?dú)?乙炔,氫氣,天然氣,氮?dú)?液化石油氣,--,煙道氣,-,燃?xì)?沼氣,-,氧氣,壓縮空氣,氬氣,-,-氫,-,氨氣。
韓國line tech m20系列氣體流量計(jì)規(guī)格:
量程:從10sccm-150slpm
響應(yīng)時(shí)間:2秒
精度:±1%fs
重復(fù)性:±0.25%fs
輸出:0-5vdc或4-20ma
耐壓:小于90bar
韓國line tech m20系列氣體流量計(jì)氣路接頭可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型:
a.. 1/8" compress
b. 1/4" compress
c. 3/8" compress
d. 1/4" vcr
e. 1/4" vco
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氣體流量計(jì)
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