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復合式真空發生器結構示意圖
;; 根據自動機械的動作要求，把若干個噴嘴、擴張管副用串聯、并聯的混合方式連接起來，用以實現大排氣量和高真空度的復合式真空發生器的結構如圖9 所示。它的真空發生過程與串聯式的完全相同。如果在結構上把兩列噴嘴、擴張管副完全隔離開，用分配閥控制向兩列分別供氣、斷氣，這樣復合式真空發生器就完全具備大功率、大排氣量、高真空度和率的特性，應該說是比較理想的真空發生元件。
圖9：復合式真空發生器示意圖
; 但是，由于其體積增的羅茨泵和1臺抽速為70l/s的旋片泵組成，由它完成對sfc高、低真空室從---到70pa的粗抽，也要完成對sfc 高真空室單獨抽至10pa。高真空系統由2臺抽速為1500l/s 的渦輪分子泵和1臺抽速150l/s的羅茨泵機組組成。真空系統由2臺抽速為20000l/s的/hirfl-800低溫泵和1臺抽速10000l/s的低溫泵組成。分子泵與低溫泵共同安裝在一個泵室中，分子泵與低溫泵之間以及泵室與真空室之間分別由直徑為250mm和630mm 的真空閥門隔開。從---抽至10pa，大約需要20min。從10pa到e-3pa 由高真空系統的分子泵完成，約需要2h。當真空度優于3e-3pa 時，低溫泵開始工作。低溫泵工作10h后，在sfc真空室中心平面上可以獲得1.3e-5pa的真空。
; sfc真空室從安裝到完成測磁工作，歷時6 個多月。真空室長時間暴露于---之中，這樣對要想獲得1.3e-5pa的真空度是較難的。無好的辦法就是烘烤。但由于真空室安裝后，與磁鐵、高頻腔部件、注入引出元件、束診元件等都連接在一起，再加上真空室形狀復雜，所以用常規的加熱帶、烘烤燈等方法來加熱，因受條件而無法實行。進行分析后，決定采用熱水循環加熱的方法，對真空室內部的線圈、覆面等那些在加速器運行時需要用冷卻水的部件，在抽空時先用熱水循環，進行烘烤。
; 經過計算，這部分部件在真空室中的表面積，要占整個真空室內表面積的75%。加工了一套熱水循環系統，考慮到線圈是環氧澆鑄，水溫應控制在80度左右。經過10h熱水循環烘烤后，真空度從10e-5pa進入到10e-6pa，證明了這種烘烤方法是可行的。
復合式真空發生器結構示意圖
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