深圳市衡鵬瑞和科技有限公司為您提供100級無塵烤箱cm-100t_晶圓pi膠固化。100級無塵烤箱cm-100t_晶圓pi膠固化
100級無塵烤箱cm-100t概述:
晶圓pi膠固化烤箱cm-100t是參照 federal standard(fs)209e 無塵等級規格研發制造,廣泛應用于電子液晶顯示屏、lcd、cmos、ic、實驗室等生產及科研部門。采用平面水平送風,然后經過進口hepa filter裝置 (特殊風道設計)送風,過濾效率可達99.99%,滿足class 100級無塵規格,排氣口為3"φ(附自動啟閉風門功能),以達到---循環的---。
100級無塵烤箱cm-100t箱體結構:
·烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱器及風道系統部分組裝而成,結構合理,外型美觀大方
·全周氬弧焊,耐高溫硅膠迫緊,sus304#不銹鋼電加熱器,防止機臺本身產生微塵
·箱體材料:sus304#不銹鋼板
·內膽材料:采用進口sus304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,
·并經堿性蘇打水清潔,去油污以避免烘烤時產生微塵
·中桶材料:采用進口sus304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,
·并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬弧焊密封加工(防污染)
·保溫材料:采用正廠中央玻璃纖維公司出品,100k級高密度高保溫板制造
·電熱器:采用進口覆套式電加熱器 (sheathed heater),為無塵化電熱發生器
·潔凈度:烤箱內部均采用無塵化配件及材料
cm-100t100級無塵烤箱規格:
無塵等級 class 100
溫度范圍 室溫~+250℃
升溫速度 常溫~+200℃, 升溫斜率程序可控
溫度均勻度 ±1%;空載
工作室尺寸 w600×h550×d500 mm
外形尺寸 w1100×h1700×d1220 mm
加熱功率 14kw
層板 共2片
環境條件 溫度 5~40℃;濕度 ≤85%r.h
電源 ac380v , 三相,50hz
氣壓 86~106kpa
使用條件 無---振動,無強磁場影響,無腐蝕性氣體
箱體周圍應留有500mm的空間供設備安裝、維修使用
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