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定位精度高使用直線導軌作為線性導引時,由于直線導軌的摩擦方式為滾動摩擦,不僅摩擦系數降低至滑動導引的1/50,
動摩擦力與靜摩擦力的差距亦變得很小。因此當床臺運行時,不會有打滑的現象發生,可達到μm級的定位精度。
磨耗少能長時間維持精度傳統的滑動導引,無可避免的會因油膩逆流作用造成平臺運動精度---,且因運動時潤滑不充分,導致運行軌道接觸面的磨損,---影響精度。而滾動導引的磨耗非常小,故機臺能長時間維持精度。
適用高速運動且大幅降低機臺所需驅動馬力由于直線導軌移動時摩擦力非常小,只需較小動力便能讓床臺運行,尤其是在床臺的工作方式為經常性往返運行時,更能明顯降低機臺電力損耗量。且因其摩擦產生的熱較小,可適用于高速運行。