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全封閉顯影機(jī)產(chǎn)品優(yōu)勢
·全封閉式顯影，避免霧氣擴(kuò)散到外部，污染。
·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。
·內(nèi)腔鍍特氟龍，光滑，耐腐蝕，易清洗。
·內(nèi)置真空過濾器，防止液體吸入真空泵。
·真空壓力可調(diào)，壓力值實(shí)時顯示。
·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào)。
全封閉顯影機(jī)產(chǎn)品參數(shù)
支持wafer尺寸：碎片至200mm8"圓晶
·轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
·旋涂速度：20-3000rpm空載
·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec空載
·工藝時間設(shè)定：0-3,000sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec
·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)1路洗衣液，1路純水，1路氮?dú)?
·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序
·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或基片的顯影機(jī)。
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