設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，
其測量工作原理如下。---質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用---氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓---離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集---離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。
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聽音法
氣體從小孔中噴出時，會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音例如電機的聲音也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3mpa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發聲地點。由于檢測環境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩定性和---性很差。應與其它檢測法并用。
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氫氣干燥器用于干燥發電機內的氫氣，以防機內水分過高時，對發電機的高壓絕緣件或高應力金屬結構件產生危害。
干燥器由二個干燥塔組成，塔內裝填有干燥劑和加熱元件，空調換熱器---檢漏設備，一個工作時，另一個加熱再生。每個塔內都裝有一臺循環風機，連續工作。工作塔內的風機用以加---體循環量并使氣體在干燥劑內分布均勻；再生塔內的風機用以循環再生氣體，迫使再生氣體經過冷凝器、氣水分離器等，使干燥劑內吸附的水分分離出來。氫氣干燥器的工作和再生過程由內建plc控制，完全自動進行。由于是閉式循環，所以不消耗氫氣，也不會引入空氣。為提高---性，干燥器從氫氣中分離出出來的水分需人工排放。
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