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渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優缺點。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經驗。
應用：當今，現代化的半導體行業中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環境下運行。又如電子顯微鏡，二手愛發科分子泵維修，表面分析儀器，愛發科分子泵維修養護，殘余氣體分析儀及---質譜檢漏儀等也經常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來，渦輪分子泵，在國內、外都得到了---的改進和發展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下，江門愛發科分子泵維修，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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分子泵是---質譜檢漏儀中獲得高真空重要部，是---質譜檢漏儀中不可或缺關鍵部件，分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞，分子泵的發展直接影響著---質譜檢漏技術。本文重點討論分子泵轉速對---質譜檢漏的影響。2、逆擴散型檢漏儀逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間，所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過這個壓力，將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓，一般不超過50pa，遠達不到高壓檢漏的要求。
1980年國際上出現一種稱之為“復合型”的分子泵，現今，其前級耐壓---已達2000pa。這種泵用作---質譜檢漏儀的高真空泵，可直接實現在高的試件壓力下的檢漏。用復合分子泵構成的一種可實現高壓強下的檢漏儀，其工作過程如下。當被檢試件抽至1500pa，v1開，氨氣逆擴散穿越整個分子泵進入質譜室，實現儀器的逆擴散檢漏。
若能進一步將試件抽至200pa以下，則v2關閉，v3打開，從泵的中間口逆擴散至質譜室，愛發科分子泵維修固件升級，若能進一步將試件抽至40pa以下，則v3關閉，v4打開，---氣從泵的上部逆擴散進入質譜室，或直接進入質譜室(常規檢漏。這種從高壓檢大漏到實現檢微漏的全自動過程，一氣呵成，不僅，也便于漏率的定量，由于每個狀態下的閥門流導和泵的壓縮比等參數都是固定不變的，儀器只需1次校準即可。
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真空泵常規性能參數測試:抽速、壓縮比等性能參數是分子泵設計之初就要首先考慮的，也是各項設計調整優化的重要目標。很終產品定型時，對外發布的各項參數和曲線，比如下圖的抽速和壓縮比曲線，都來自于這些測試的結果。這些測試都有相關的，在此不再展開描述。在泵處于垂直、水平和倒立狀態時，各進行6次沖擊測試所測試的泵在24次跌落后無任何問題不發生轉子機械接觸，泵運行狀態不變。
在每次跌落后驗證泵的不平衡性，結果表明變化，遠低于閾值。抗振動測試通過對一批泵處于運行和非運行條件下進行一系列測試，證明對外部源產生振動的耐受性在105分鐘的振動周期中，全轉速和不運行的每個泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振動。該測試證實了泵的穩定性以及耐振性，因為未觀察到轉子機械接觸或泵運行狀態的改變，且泵不平衡性仍然遠低于閾值。
溫度測試將泵置于–40°c至+70°c處于非運行狀態以及0°c至40°c處于運行狀態下暴露86小時。對每個泵的不平衡性和是否可正常操作驗證11次，結果顯示僅存在的變異，遠低于閾值。溫度測試證實了泵在各種預期運行和非運行溫度條件下的穩定性。傅立葉振動分析在制造過程中以及泵運輸前的很后測試中，對每臺泵的振動頻譜進行驗證。全速下的平均很大振動水平：0.4m/s2。
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