(1)內部的密封結構
當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2)，位于隔熱板的上方：檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到-震動，此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時，有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將-源吹散至各個密封環節，造成定位不準確。噴吹時，要嚴格控制-源的流量，汽車空調檢漏回收系統，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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1.為了正確使用-氣檢漏設備，在充入檢漏氣體前有-對抽空樣品進行預抽空。如果在填充前沒有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，檢漏回收系統，-氣檢漏設備中的氣體不能進入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設備不能檢測到這些檢漏孔。
2.-氣檢漏設備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細管會被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結果。
3.在填充檢漏氣體之前，有-快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測氣體。
4.如果氣密檢漏儀在運行過程中沒有在高壓下進行泄漏測試，那么-氣檢漏設備就不能檢測到一些泄漏孔。因此，在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現的泄漏孔。
5.檢漏試驗中的可檢測泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關系，背景濃度越高，波動越大。如果泄漏測試后泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區域，背景濃度將在整個工作日持續增加。此外，在加注或排放過程中，-沒有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。
6.如果檢漏氣體泄漏-和氫，它將像氣球一樣飛到檢漏區的室頂，并逐漸漂浮在整個檢漏區。因此，應該為泄漏測試區域提供足夠的通風。由于兩種泄漏檢測氣體都傾向于向上移動，因此建議從底部輸入新鮮空氣，從頂部向外排放氣體。
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，汽車空調檢漏回收系統，在漏點處噴射-氣5～10s后，檢漏儀就發生響應，對于如此龐大的真空系統，其反應是相當的靈敏。
檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上-氣在真空系統中的傳遞時間，即為兩次噴-的較小間隔時間，當然真空系統越龐大，該間隔時間也越長。筆者根據實測經驗，兩次噴-的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴-后30s內檢漏儀還沒有反應，則可進行第二次噴-。
清除時間在理論上與響應時間相同，但由于儀器零件對-的吸附和脫附作用的影響，清除時間一般要更長些。筆者-，在測試到數量級為10-9p a ?m3/s的微漏漏點時，清除時間約須1分鐘；在測試到數量級為10-8p a ? m3/s的中漏漏點時，清除時間約須2分鐘；在測試到數量級為10-7pa?m3/s的大漏漏點時，清除時間在3分鐘左右。
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