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氣體傳感器規格sno2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔sno2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質,用制陶工藝燒結而成,燒結時埋入加熱電阻絲和測量電極。此外,也有用蒸發和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態特性好。
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氣體傳感器樣式氣敏二極管的特性曲線左移可以看作二極管導通電壓發生改變,這一特性如果發生在場效應管的柵極,將使場效應管的閾值電壓ut改變。利用這一原理可以制成mosfet型氣敏器件。氫氣敏mosfet是一種典型的氣敏器件,它用金屬鈀(pd)制成鈀柵。在含有氫氣的氣氛中,由于鈀的催化作用,氫氣分子分解成氫原子擴散到鈀與二氧化硅的界面,終導致mosfet的閾值電壓ut發生變化。使用時常將柵漏短接,可以-mosfet工作在飽和區,此時的漏極電流id=β(ugs—ut)2,利用這一電路可以測出氫氣的濃度。
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氣體傳感器定做固體電解質是一種具有與電解質水溶液相同的離子導電特性的固態物質,當用作氣體傳感器時,它是一種電池。它無需使氣體經過透氣膜溶于電解液中,可以避免溶液蒸發和電極消耗等問題。由于這種傳感器電導率高,靈敏度和選擇性好,幾乎在石化、、礦業、食品等各個領域都得到了廣泛的應用,其重要性僅次子金屬—氧化物一半導體氣體傳感器。
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