光刻英語:photolithography是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個(gè)重要步驟,該步驟利用-和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu),然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質(zhì)層,例如玻璃、sos中的藍(lán)寶石。
集成電路英語:integrated circuit,縮寫:ic;德語:integrierter schaltkreis、或稱微電路microcircuit、微芯片microchip、晶片/芯片chip在電子學(xué)中是一種把電路主要包括半導(dǎo)體設(shè)備,也包括被動(dòng)組件等小型化的方式,并時(shí)常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上。前述將電路制造在半導(dǎo)體芯片表面上的集成電路又稱薄膜thin-film集成電路。另有一種厚膜thick-film集成電路hybrid integrated circuit是由獨(dú)立半導(dǎo)體設(shè)備和被動(dòng)組件,集成到襯底或線路板所構(gòu)成的小型化電路。
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,玻璃板,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光刻掩膜版又稱光罩,英文為mask reticle,簡(jiǎn)稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過-過程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
濺鍍法sputtering:1上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;下平行板:作為濺鍍對(duì)象的玻璃基板。2將氣ar 2 通入反應(yīng)艙中形成等離子體;離子ar + 在電場(chǎng)中被加速后沖撞靶材;受沖擊的靶材原子會(huì)沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。