-、真空泵油的特性
1、密封性
真空泵配件中泵油需求具有適宜的粘度.在低溫下能使真空泵疾速發(fā)起,在高溫下泵油能具有杰出的密封性.在泵內(nèi)泵油具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易蒸發(fā)組分,下降運用進程中真空泵的返油率。
2、---蒸汽壓
---蒸汽壓是泵油較要害的目標之一。 在恒溫的密閉容器中,當汽液兩相抵達動態(tài)均衡時的壓力稱謂---蒸汽壓。
油品的---蒸汽壓要盡量低,在泵的*高工作溫度下,仍要具有足夠低的---蒸汽壓,并要低于真空泵規(guī)則的---壓強。在60°c溫度條件 下至少要抵達6.5x10-5 kpa(因溫升每上升20°c ,---蒸汽壓大約要下跌一個數(shù)量。
普旭真空泵油乳化的預(yù)防措施
我們在普旭真空泵的使用過程中,就老是會發(fā)現(xiàn)普旭真空泵油乳化了,那是為什么呢?原來是真空泵在運行過程中吸入了腐蝕性氣體也可能是有水汽的空氣和冷氣體,吸入的腐蝕性氣體會腐蝕泵內(nèi)的金屬零件,然后和真空泵油產(chǎn)生化學(xué)變化,就形成了真空泵油乳化含有水汽的空氣和冷氣體也會引起真空泵油乳化。
知道了原因,那就好應(yīng)對了,我們可以嚴防腐蝕性氣體、有水汽的空氣和冷氣體的進入,不過更簡便的方法就是買抗乳化的真空泵油,抗乳化性能好真空泵油的油水分離能力比較強,水蒸氣和冷凝氣體可以通過打開氣鎮(zhèn)閥,排除部分水蒸氣,不知道該怎么選抗乳化的真空泵油也沒關(guān)系,大家只要記得低粘度泵油抗乳化能力比高粘度油要好,加劑泵油比不加劑泵油效果更為明顯就行了。
對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹
愛發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。