測力傳感器釋放殘余應力的穩定性處理方法,除制造工藝流程中常用的溫度老化和電老化處理外,主要有兩種方法,即熱處理法和機械法,下面東莞市卓揚測控技術有限公司來給大家介紹一下。
1、熱處理法:多應用于鋁合金測力傳感器,在毛坯加工成彈性元件后進行,主要有反淬火法、冷熱循環法和恒溫時效法;
2、機械法:穩定性處理,多在測力傳感器電路補償與調整和防護密封后,基本形成產品時進行,主要工藝有脈動疲勞法、超載靜壓法和振動時效法。
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彈性元件的金屬材料對測力傳感器的綜合性能和長期穩定性起關鍵作用,應選擇強度-和彈性-高,彈性模量的時間、溫度穩定性好,彈性滯后小,機械加工和熱處理產生的殘余應力小的材料。
彈性元件在機械加工過程中,由于表面變形的不均勻產生較大的殘余應力,切削用量越大,殘余應力就越大,微型傳感器定做,磨削加工產生的殘余應力較大,因此應制訂合理的加工工藝和規定適當的切削用量。
彈性元件在熱處理過程中,由于冷卻溫度不均勻和金屬材料相變等原因,在芯部和表層產生方向不同的殘余應力,其芯部為拉應力,表層為壓應力,必須通過回火處理工藝,在其內部產生方向相反的應力,與殘余應力相互抵消,減少殘余應力的影響。
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電阻應變式傳感器是通過彈性的敏感元件將外部的應力轉換成應變ε,再根據電阻應變效應,由電阻應變片將應變轉換成電阻值的微小變化,通過測量電橋轉換成電壓或電流的輸出。
壓阻式傳感器是通過擴散工藝將四個半導體應變電阻制作在同一硅片上,利用半導體材料的壓阻效應制成的傳感器,它由于工藝一致性好,靈敏度相等,微型傳感器非標,因此漂移抵消,遲滯、蠕變非常小,動態響應快,穩定性好,溫度范圍寬,微型傳感器,易小型化,能批量生產和使用方便。
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