力敏傳感器是將應力、壓力等力學量轉換成電信號的轉換器件,力敏傳感器有電阻式、電容式、電感式、壓電式和電流式等多種形式,半導體壓力傳感器的優點是體積小、成本低,缺點是對濕度十分敏感,壓電式力敏傳感器的優點是靈敏度高,工作溫度范圍寬(-70~250攝氏度),缺點是成本稍高。
力敏傳感器是用來檢測氣體、固體、液體等物質間相互作用力的傳感器,常用材料有半導體、金屬及合成材料,常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器,硅壓力傳感器優點是,靈敏度好、精度高、缺點是受溫度影響大。
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三維力傳感器要測量三個方向的信號,先確定傳感器中測量的至大值,一般需要選擇一個具有比至大值還要大1.2倍左右的力量值變送器,這主要是在許多系統中,尤其是水壓測量和加工處理中,有峰值和持續不規則的上下波動,這種瞬間的峰值能破壞三維力傳感器。
持續的高壓力值或稍微超出三維力傳感器的標定至大值會縮短沖擊力傳感器的壽命,這樣做還會使精度下降,于是可以用一個緩沖器來降低壓力毛刺,可變電阻式張力傳感器,但這樣會降低傳感器的響應速度,所以在選擇傳感器時要充分考慮壓力范圍、精度與其穩定性。
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和傳統的傳感器相比,微型傳感器具有許多新特性,它們能夠彌補傳統傳感器的不足,具有廣泛的應用前景,張力傳感器定做,越來越受到重視,傳統的傳感器件因其制作工藝與半導體ic工藝不兼容,制約了整個系統的集成化、批量化和性能的充分發揮。
微型傳感器是以新的工作機制和物化效應,使用標準半導體工藝兼容的材料,通過mems加工技術制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點,可以提高傳感器性能,在信號傳輸前就可放大信號,從而減少干擾和傳輸噪音,提高信噪比,在芯片上集成反饋線路和補償線路,張力傳感器定制定做,可---輸出的線性度和頻響特性,降低誤差,提高靈敏度。
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