凈化工程系統用的新風空調機組mau和循環空調機組ahu的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2mpa蒸汽，空調凈化工程，加濕采用0.1mpa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經潔凈蒸汽發生器產生。
1 cp室凈化級別為7級，空調凈化工程安裝，換氣次數取為30次/小時，cp室工藝設備用酸量較多，采用全新風空調機組mau-3+過濾器送風口hep-abox的空調方式。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-過濾器送風-潔凈區。
2 ml室凈化級別為7級，永康市空調凈化工程，換氣次數取為30次/小時，采用新風機組mau+循環機組ahu+過濾器送風口hep-abox的空調方式。新風接自其它系統共用mau-1、2新風組。
3 cp/cvd室、lp/cvd室、潔凈包裝間凈化級別為6 級，換氣次數取為50次/小時，采用新風機組mau+循環機組ahu+過濾器送風口hep-abox的空調方式。新風接自其它系統共用的mau-1、2新風組。
風管內的灰塵經過中效過濾器的過濾已清除90%的灰塵，如定期更換中效則風管的污染程度要比一般的空調風管好得多，因此風管系統的內部清潔并不是必須的，每兩年清洗一次對潔凈度較高的也是可以接受的。又則清洗風管時引起的震動會-影響無塵室的塵量和工作氣流要求，因此建議在檢修期間施工。
空氣凈化工程的風管系統要-密封性，嚴格檢測風管泄漏，能夠定期進行漏光測試或漏風測試，監測法蘭或螺紋密閉性，-時進行焊接或密封膠處理。
為減少灰塵的來源，上下技術夾層內所有表面清潔是-的，也建議在開工前或期間，以免工作期間引起震動影響無塵室塵量。對千級以上的潔凈工程空氣凈化，空氣凈化工程中空調維護的注意事項ffu內部也應定期清洗。
洗凈室、品質檢查室凈化級別為7 級，空調凈化工程設計，采用新風機組mau+循環機組ahu+風機過濾器單元ffu)的空調方式。采用的氣流形式為頂部ffu送風，房間側下百葉風口回風。ffu滿布率為33%，洗凈室、品質檢查室對nh4+、sqx濃度有要求，需在循環機組ahu內增設化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風混合-化學過濾器nh4+-化學過濾器sqx-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元ffu-潔凈區-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統共用的mau-1、2新風組。
除cp室外的潔凈室所需新風采用2臺新風機組mau-1、2集中處理，新風集中處理后送至各循環機組ahu。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-各循環空調機組ahu。
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