經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的努力,今天的-質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
1便攜式:近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
2高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可-數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
3自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)-峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
4全無(wú)油的干式檢漏:有些生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
5檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,范圍很寬,不僅可檢測(cè)-氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)-達(dá)到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴(kuò)散檢漏方式,實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了-的條件。
(1) 漏率校準(zhǔn) 校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成
校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的-質(zhì)譜檢漏儀組成。
示值誤差
通電預(yù)熱,待-質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)完成后,采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn),將一經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入-質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng),運(yùn)行-質(zhì)譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的-質(zhì)譜檢漏儀示值,同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測(cè)量三次,計(jì)算-質(zhì)譜檢漏儀示值平均值,從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與-質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后,將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入-質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試,得到-質(zhì)譜檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。
如果測(cè)試結(jié)果有較大編差,可以考慮-質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行測(cè)試。
重復(fù)性
測(cè)量重復(fù)性是用實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表征的,本校準(zhǔn)方法采用極差法來(lái)表征重復(fù)性。在示值誤差測(cè)量中,每一標(biāo)準(zhǔn)漏孔用-質(zhì)譜檢漏儀重復(fù)測(cè)量三次,可用公式(2)計(jì)算-質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復(fù)性。
今天和大家分享的是-質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法,如您想了解更多的產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢!
1、關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購(gòu),-了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和-性;
2、真空箱內(nèi)-氣本底抑零,-了檢漏的準(zhǔn)確性、;
3、特有的清-系統(tǒng),-地清除超標(biāo)的-本底,-檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;
4、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)-氣壓力和濃度,-了工件檢測(cè)的精度;
5、可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格-氣進(jìn)行提純,-降低-氣損耗功能可選;
6、可同時(shí)檢測(cè)多工件,并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件;
7、定制的的密封接頭,空調(diào)換熱器-測(cè)漏系統(tǒng),,減少誤判。
8、觸摸屏實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和運(yùn)行參數(shù),監(jiān)控一目了然。
9、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能,-了系統(tǒng)的操作安全及-運(yùn)行。
今天和大家分享的是-氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢(shì),希望對(duì)您有所幫助!