對于真空鍍膜機設備而言,真空泵是獲得真空環境不可缺少的一部分,制造商每次制造真空鍍膜設備時都會搭配一個或多個真空泵。
真空鍍膜機在選擇如何選擇真空泵時,應注意以下事項:
1.真空泵的工作壓力必須滿足真空設備的-真空和工作壓力要求。
2.正確地選擇真空泵的工作壓力。每種泵都有一定的工作壓強范圍,
3.真空泵在工作壓力下,應能排出真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4.真空泵的正確組合有選擇性吸入,有機高分子鍍膜設備廠家,所以有時選擇一種泵也不能滿足進氣要求,必須與幾種泵結合,互相補充,才能滿足進氣要求。
真空鍍膜設備主要指需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,石排有機高分子鍍膜設備,包括真空離子蒸發,磁控濺射,mbe分子束外延,pld激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
根據工藝要求選擇不同規格及類型鍍膜設備,其類型有電阻蒸發真空鍍膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設備、磁控濺射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。
無論監控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發源的不穩定或膜材的不同表現而引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對真空室的結構和蒸發源的恰當選擇可以使這些影響較小。
parylene是美國union carbide co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料,由的真空氣相沉積工藝制備,有機高分子鍍膜設備制造商,能涂敷到各種形狀的表面,號稱“無孔不入”,被業內稱為好的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。parylene可分為n型、c型、d型、f型、ht型等多種類型
現在,系統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設備進行光學鍍膜的生產也已經轉變成為純技術問題。