綁定的適用范圍
技術(shù)上來(lái)說(shuō)表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來(lái)提高濺射過(guò)程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材：
ito、sio2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材；
錫、銦等軟金屬靶；
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端：
1.熔點(diǎn)低的靶材，金電解槽設(shè)計(jì)，像銦、硒等，金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形；
2.---靶材，一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料，建議墊一片銅片。
熱壓法：ito靶材的熱壓制作過(guò)程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后，以 100kgf/cm 2～1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓，同時(shí)以1000℃～1600℃進(jìn)行燒結(jié)。熱壓工藝制作過(guò)程所需的成型壓力較小，金電解槽設(shè)計(jì)廠家，燒結(jié)溫度較低，燒結(jié)時(shí)間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ito靶材由于缺氧率高，氧含量分布不均勻，從而影響了生產(chǎn)ito薄膜的均勻性，且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。
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