真空手套箱用磁控濺射離子鍍技術(shù)為黃銅電鍍亮鉻的衛(wèi)生潔具鍍制zrn膜。真空手套箱設(shè)備采用基材為---的非平衡磁控濺射靶和中頻電源,以及脈沖偏壓電源。
(1)抽真空
5 x 10-3~6.6 x 10-13pa本底真空。真空手套箱設(shè)備加熱溫度應(yīng)在真空室器壁放氣后又回升到100~150℃。
(2)轟擊清洗
真空度:通---真空度保持在2~3pa。轟擊電壓:800~1000v,脈沖占空比20%。轟擊時(shí)間:10min。
(3)手套箱
沉積---底層
真空度:通入氣,真空度保持在s x l0-1pa。靶電壓:400—550v,靶功率15 n 30w/crrr2。脈沖偏壓:450~500v,占空比20 %。手套箱時(shí)間:5~10min。
鍍zrn膜
真空度:通入氮?dú)猓婵斩缺3衷?3~5) x 10-1pa。靶電壓:400~550v,靶電流隨靶的面積增大而加大。脈沖偏壓:150~200v,占空比80 %。手套箱時(shí)間:20~30min。
由于真空手套箱磁控濺射技術(shù)中金屬離化率低,真空鍍膜工廠,不容易進(jìn)行反應(yīng)沉積,獲得化合物膜層的工藝范圍比較窄。真空手套箱設(shè)備可采用氣體離子源將反應(yīng)氣體離化,擴(kuò)大反應(yīng)沉積的工藝范圍。也可以采用柱狀弧源產(chǎn)生的弧等離子體作為離化源,柱狀弧源還是輔助手套箱源。
拋光
拋光是指利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。是利用拋光工具和磨料顆粒或其他拋光介質(zhì)對(duì)工件表面進(jìn)行的修飾加工。拋光不能提高工件的尺寸精度或幾何形狀精度,而是以得到光滑表面或鏡面光澤為目的,有時(shí)也用以消除光澤消光。通常以拋光輪作為拋光工具。拋光輪一般用多層帆布、毛氈或皮革疊制而成,兩側(cè)用金屬圓板夾緊,其輪緣涂敷由微粉磨料和油脂等均勻混合而成的拋光劑。拋光時(shí),高速旋轉(zhuǎn)的拋光輪圓周速度在20米/秒以上壓向工件,使磨料對(duì)工件表面產(chǎn)生滾壓和微量切削,從而獲得光亮的加工表面,表面粗糙度一般可達(dá)ra0.63~0.01微米;當(dāng)采用非油脂性的消光拋光劑時(shí),可對(duì)光亮表面消光以---外觀。針對(duì)不同的拋光過(guò)程:粗拋(基礎(chǔ)拋光過(guò)程),中拋(精加工過(guò)程)和精拋(上光過(guò)程),選用合適的拋光輪可以達(dá)到拋光效果,真空鍍膜企業(yè),同時(shí)提高拋光效率。
pvd鍍膜
pvd是英文physical vapor deition物---相沉積的縮寫,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場(chǎng)的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。物---相沉積技術(shù)工藝過(guò)程簡(jiǎn)單,對(duì)環(huán)境---,真空鍍膜加工廠家,無(wú)污染,耗材少,福建真空鍍膜,成膜均勻致密,與基體的結(jié)合力強(qiáng)。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、輕工、冶金、材料等領(lǐng)域,可制備具有耐磨、耐腐飾、裝飾、導(dǎo)電、絕緣、光導(dǎo)、壓電、磁性、潤(rùn)滑、超導(dǎo)等特性的膜層。