精密蝕刻工藝過程中需要注意的問題
縱觀精密蝕刻技術(shù)的開展進(jìn)程，以程度延續(xù)電解精密蝕刻技術(shù)替代傳統(tǒng)化學(xué)精密蝕刻技術(shù)是蝕刻技術(shù)的開展趨向。電解精密蝕刻技術(shù)的不時(shí)改良，---自控技術(shù)和---工藝的運(yùn)用，---是許多-的使用，促使蝕刻技術(shù)向-方向開展。延續(xù)電解蝕刻技術(shù)配備不只要具有蝕刻的功用，還必需具有拋光、外表糙化、前處置等功用。如電解蝕刻之脫泥，使電解蝕刻與再生資源回收無機(jī)地結(jié)合起來。電解蝕刻沉淀而得的金屬氫氧化物泥就是---的化工原料,可以完成廢物應(yīng)用。
濕式蝕刻的優(yōu)缺點(diǎn)
低成本、高---性、高產(chǎn)能及---的蝕刻選擇比。但相對(duì)于干式蝕刻，除了無-義較細(xì)的線寬外，濕式蝕刻仍有以下的缺點(diǎn)：1)需花費(fèi)較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水；2)化學(xué)---處理時(shí)人員所遭遇的安全問題；3)光阻附著性問題；4)氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻；5)廢氣及潛在的性。
濕式蝕刻過程可分為三個(gè)步驟：1)化學(xué)蝕刻液擴(kuò)散至待蝕刻材料之表面；2)蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；3)反應(yīng)后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴(kuò)散至溶液中，并隨溶液排出(3)。三個(gè)步驟中進(jìn)行慢者為速率控制步驟，也就是說該步驟的反應(yīng)速率即為整個(gè)反應(yīng)之速率。
大部份的蝕刻過程包含了一個(gè)或多個(gè)化學(xué)反應(yīng)步驟，各種形態(tài)的反應(yīng)都有可能發(fā)生，但常遇到的反應(yīng)是將待蝕刻層表面先予以氧化，再將此氧化層溶解，并隨溶液排出，如此反復(fù)進(jìn)行以達(dá)到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時(shí)即是利用此種化學(xué)反應(yīng)方式。
金屬蝕刻網(wǎng)表面加工之涂裝法顏料的種類
顏料的大部分都是無機(jī)金屬鹽，但在特殊情況下，也用有機(jī)物或金屬粉末。
(1)白色顏料鋅白(zno)、鉛白(2pbc03″pb(oh)2),鋅鋇白(baso4+zns),欽白(v02).(2)黑色顏料碳黑、油煙、黑、石墨等，幾乎全是碳系。(3)紅色顏料丹紅(pb304),(pbo),鍋紅、淀紅。(4)黃色顏料鉛鉻黃(---鉛pbcro4)、鋅黃、福黃、黃色氧化鐵(fe4(oh)z)、淀黃。(5)藍(lán)色顏料鐵藍(lán)(fe4cfe(cn)；6)3)、群青、深藍(lán)色、鉆藍(lán)。(6)綠色顏料鉻綠(鐵藍(lán)和鉛鉻黃混合)、氧化鉻(cr03)或(cro(oh):)、---(cu(c2h302):·3cu(aso)2)、鋅綠。(7)褐色顏料氧化鐵(fe203)或稱鐵丹、黃土。(8)金屬顏料青銅粉、鋅末、鉛粉等。
登錄后臺(tái)
