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一.油封式旋片真空泵廠家油封式旋片真空泵廠家介紹
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干式螺桿真空泵研究現(xiàn)狀與展望(1)
目前各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，因此近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大, 真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)無(wú)新?lián)Q代的局面, 大量的有油真空系統(tǒng)已被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國(guó)外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵, 是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、---、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn), 但其制造技術(shù)為國(guó)外掌握, 我國(guó)尚處于起步階段,市場(chǎng)對(duì)于干式真空泵有迫切的需求。
1、研究現(xiàn)狀
干式螺桿真空泵由于其---的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問(wèn)題。
1轉(zhuǎn)子端面型線
螺桿真空泵主要部件是一對(duì)旋向相反的螺距螺桿，電機(jī)的傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過(guò)一對(duì)---的同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)螺桿，兩螺桿間留有間隙，通過(guò)兩轉(zhuǎn)子的嚙合達(dá)到抽氣的目的(如圖1)。
圖1 兩轉(zhuǎn)子傳動(dòng)示意圖
---是螺桿齒形，不同的齒形直接決著泵的---真空、抽氣速率、容積效率、振動(dòng)和噪聲等技術(shù)性能指標(biāo)的差異。目前螺桿真空泵的端面型線主要分為兩種，單頭轉(zhuǎn)子型線和多頭轉(zhuǎn)子型線。如圖2、3所示。
圖2 單頭轉(zhuǎn)子端面型線 圖3 多頭轉(zhuǎn)子端面型線
源于螺桿壓縮機(jī)的多頭轉(zhuǎn)子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6頭螺桿轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上，lg公司的真空泵目前也使用多頭轉(zhuǎn)子型線，由于兩嚙合轉(zhuǎn)子接觸線的頂點(diǎn)不能達(dá)到陰、陽(yáng)轉(zhuǎn)子氣缸孔的交線，在接觸線頂點(diǎn)和機(jī)殼的轉(zhuǎn)子氣缸孔之間，會(huì)形成一個(gè)空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低
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