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選擇去離子水設備的必---要性
去離子水在電子工業主要是線路板、電子元器件生產中的重要作用日益---,去離子水質已成為影響線路板、電子元器件產品、生產成品率及生產成本的重要因素之一,水質要求也越來越高。在電子元器件生產中,去離子水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料,不同的電子元器件生產中純水的用途及對水質的要求也不同。
在晶體管、集成電路生產中,去離子水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路生產過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片,水質的好壞與集成電路的產品及生產成品率關系很大。水中的堿金屬k、na等會使絕緣膜耐壓---,重金屬au、ag、cu等會使pn結耐壓降低,ⅲ族元素b、al、ga等會使n型半導體特性惡化,ⅴ族元素p、as、sb等會使p型半導體特性惡化[2],水中---高溫碳化后的磷約占灰分的20-50%會使p型硅片上的局部區域變為n型硅而導致器件性能變壞[3],水中的顆粒包括---如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。
去離子水中雜質的污染源
1.水源的影響
由于水是一種溶解能力很強的溶劑,因此天--然水中含有各種鹽類和化合物,溶有co2, 還有膠體(包括硅膠和腐殖質膠體),天--然水中還存在大量的非溶解性質,包括粘土、砂石、---、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。
2.材料的影響
制備去離子水的材料設備的材質都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑,也引入大量的金屬、非金屬雜質,同時還會帶來有機污染。
3. 去離子水生產工藝介紹,制備電路板pcb去離子水的工藝流程大致分成以下幾種:
1、采用離子交換方式,其流程如下:
原水***原水加壓泵***多介質過濾器***活性炭過濾器***軟水器***精密過濾器***陽樹脂過濾床***陰樹脂過濾床***陰陽樹脂混床***微孔過濾器***用水點
2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:
原水***原水加壓泵***多介質過濾器***活性炭過濾器***軟水器***精密過濾器***di一級反滲透 ***ph調節***中間水箱***di二級反滲透反滲透膜表面帶正電荷***純化水箱***純水泵***微孔過濾器***用水點
3、采用edi方式,其流程如下:
原水***原水加壓泵***多介質過濾器***活性炭過濾器***軟水器***精密過濾器***一級反滲透機***中間水箱***中間水泵***edi系統***微孔過濾器***用水點
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