河北美州保溫建材集團有限公司為您提供工業(yè)型原子力顯微鏡。工業(yè)型原子力顯微鏡
◆ 實現(xiàn)樣品保持不動，探針移動掃描的原子力顯微鏡；
◆ 采用閉環(huán)三軸獨立壓電平移式掃描器，大范圍---掃描；
◆ 樣品尺寸、重量基本不受---，---適合集成電路晶圓等---樣品檢測；
◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附式載物臺；
◆ ---行程二維電動樣品移動臺，快速選擇感興趣的樣品區(qū)域；
◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實現(xiàn)探針
工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)
◆ 基本工作模式：接觸、輕敲、f-z力曲線測量、rms-z曲線測量、摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式：profile線快速測量模式
◆ 樣品尺寸：φ***300mm，h***50mm
◆ 閉環(huán)掃描范圍：xy向100um，z向10um
◆ 閉環(huán)掃描分辨率：xy向0.2nm，z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍：300mm×300mm
◆ 輔助光學(xué)定位：10x物鏡，光學(xué)分辨率1um可選配20x，光學(xué)分辨率0.8um
◆ 氣動式減震臺，減震頻率0.5hz
◆ 噪音水平：＜0.1nm
工業(yè)型原子力顯微鏡詳情：
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