株洲鑫韻科技發展有限公司為您提供cvd氣相沉積爐�；瘜W氣相沉積爐應用領域:
化學氣相沉積爐沉積炭可用于以碳氫氣體如c3h8等為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如c/c復合材料、sic復合材料等cvd、cvi處理。
化學氣相沉積爐產品規格:
產品型號/規格w×h×l(mm)
600*600*1000
800*800*1200
1000*1000*1500
1200*1200*2500
1500*1500*3000
2500*2000*3600
裝載重量(kg)
350
800
1500
2500
5000
10000
溫度(℃)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
溫度均勻性(℃)
±7.5
±7.5
±7.5
±10
±10
±15
加熱功率(kw)
250
360
480
600
900
1200
---真空度(pa)
20
20
20
20
20
20
壓升率(pa/h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整，---驗收依據，具體以技術方案和協議為準。
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