北京天浦正達(dá)電子科技有限公司為您提供melec電源維修melec脈沖發(fā)生器維修melec脈沖電源維修高壓發(fā)生器。melec電源維修melec脈沖發(fā)生器維修melec脈沖電源維修高壓發(fā)生器
melec的電源脈沖發(fā)生器可實(shí)現(xiàn)多種用途，憑借現(xiàn)有的直流電源配上melec的電源脈沖發(fā)生器即可實(shí)現(xiàn)單極脈沖、雙極脈沖、偏壓以及hipims高能脈沖電源等功能。
nicr靶使用直流及hipims晶體結(jié)構(gòu)對(duì)比
以hipims高能脈沖為例，相較于直流電源，離化率更高，沉積的薄膜附著力---，從上圖可以看出，直流電源沉積出的為柱狀結(jié)構(gòu)，而hipims電源沉積出的為玻璃狀結(jié)構(gòu)，膜層更致密。
melec的電源脈沖發(fā)生器主要分為研發(fā)領(lǐng)域使用的sipp2000系列以及工業(yè)領(lǐng)域使用的spik系列，其中sipp2000系列分為單極和雙極兩種，spik系列分為spik1000a、spik2000a和spik3000a三種。spik系列涵蓋的功率范圍可從0.5kw到30kw。
melec推出的spik3000a基本性能參數(shù)如下：
項(xiàng)目
規(guī)格參數(shù)
直流電源功率輸入
10kw,20kw,30kw
直流電源電壓輸入
1000v
直流電源電流輸入
50a
脈沖輸出電壓
1000v
脈沖輸出電流
1000a(峰值)
ce
melec電源脈沖發(fā)生器，除了單獨(dú)產(chǎn)生脈沖之外，也可進(jìn)行疊加使用，根據(jù)不同的應(yīng)用以及不同的基材等，進(jìn)行各種不同的疊加。
對(duì)于單靶或者單弧源來說，可以進(jìn)行直流和單極hipims高能脈沖、直流和單極脈沖以及單極脈沖和單極hipims高能脈沖疊加，實(shí)現(xiàn)共濺射的功能。
直流和單極hipims高能脈沖疊加
對(duì)于雙靶來說，可以進(jìn)行更多種的疊加，比如雙極脈沖和雙極hipims高能脈沖、單極脈沖和雙極hipims高能脈沖(bias偏壓同步)、雙極hipims高能脈沖/雙極脈沖和單極脈沖(bias偏壓同步)、單極hipims高能脈沖/雙極脈沖和單極脈沖(bias偏壓同步)、雙極hipims高能脈沖和rf(bias偏壓同步)以及單極hipims高能脈沖和rf(bias偏壓同步)疊加等。
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