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氣體傳感器說明還有采用絲網印刷工藝制成的厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,組裝容易,使用方便,便于批量生產的優點。電阻型氣體傳感器的一種典型結構,它主要南sno2敏感元件、加熱器、電極引線、底座及不銹鋼網罩組成。這種傳感器結構簡單,使用方便,可以檢測還原性氣體、可燃性氣體、蒸氣等。
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氣體傳感器規格氣敏二極管的特性曲線左移可以看作二極管導通電壓發生改變,這一特性如果發生在場效應管的柵極,將使場效應管的閾值電壓ut改變。利用這一原理可以制成mosfet型氣敏器件。氫氣敏mosfet是一種典型的氣敏器件,它用金屬鈀(pd)制成鈀柵。在含有氫氣的氣氛中,由于鈀的催化作用,氫氣分子分解成氫原子擴散到鈀與二氧化硅的界面,終導致mosfet的閾值電壓ut發生變化。使用時常將柵漏短接,可以-mosfet工作在飽和區,此時的漏極電流id=β(ugs—ut)2,利用這一電路可以測出氫氣的濃度。
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氣體傳感器定做同體電解質在高溫下才會有明顯的導電性。氧化鋯(zro2)是典型的氣體傳感器的材料。純正的氧化鋯在常溫下是單斜晶結構,當溫度升到1000℃左右時就會發生同質異晶轉變,由單斜晶結構變為多晶結構,并伴隨體積收縮和吸熱反應,因此是不穩定結構。在zro2中摻入穩定劑如:堿土氧化鈣cao或稀土氧化釔y2o3,使其成為穩定的熒石立方晶體,穩定程度與穩定劑的濃度有關。
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