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1專(zhuān)為---校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計(jì)
2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用a3200控制器)
4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設(shè)計(jì)
行程≤150mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
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