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1專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計(jì)
2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性ji好
3所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4行程達(dá)1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的xy子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
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