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1zui大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2---的轉(zhuǎn)向和小的穩(wěn)定時間
3主動偏轉(zhuǎn)控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重復(fù)定位精度±50nm
分辨率0.25nm
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