成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司為您提供固態(tài)微波遠程等離子體源-等離子蝕刻-微波源。沃特塞恩提供的固態(tài)微波遠程等離子體源系統(tǒng)引進了德國的等離子體技術(shù)，主要由等離子體放電腔、gaox效率固態(tài)微波源、微波傳輸及調(diào)配器組成。
因固態(tài)微波遠程等離子體源的特殊結(jié)構(gòu)，等離子體在反應(yīng)區(qū)之外的等離子體放電腔中被激發(fā)，在---高電離率與低重組率的同時，為用戶提供高濃度、低溫度、更均勻的活性自由基。有效的降低了電子、離子等高能活性離子對材料表面的轟擊損傷，活性自由基對樣品的作用占------，有效控制反應(yīng)均勻性，減少污染，是干法處理半導體材料的更穩(wěn)妥的方案。
> 采用新技術(shù)的固態(tài)微波源，頻率、功率穩(wěn)定性高，使用---，無需更換磁控管耗材
> 等離子體放電腔材質(zhì)可選，可適用各種氣體
> 體積小、集成度高、便于更換
> ---的放電腔設(shè)計，負載匹配度高，反射功率小，低于1%
> 系統(tǒng)運xing qi壓適應(yīng)范圍廣
> 電離率高、電離速度快
固態(tài)微波遠程等離子體源的應(yīng)用范圍如下：
前道及后道半導體生產(chǎn)工序中的去膠，前道及后道半導體生產(chǎn)工序中的刻蝕，柔性pcb卷對卷工藝制作中聚酰yaan薄膜的刻蝕，材料表面處理
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