基本參數
x向量程:100mm
x軸檢測方法:---光柵傳感器/分辨率:0.2μm
x軸測量速度:0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義
x軸直線度:1.2μm/100mm
z向量程:320mm
輪廓部分精度:
z1向量程:±2mm,±5mm
x軸精度:±3+0.02lμm
z1軸精度:±0.3%f.s.
z1軸量程與分辨率比例: 65536:116位
z1軸傳感器類型:差動變壓器,2段式
驅動方式及速度:x軸 z軸 均為電動 4檔,可自定義速度
粗糙度部分精度:
傳感器量程范圍:840μm/200μm
z1軸傳感器分辨率:13nm840μm量程時/ 3nm200μm量程時
測量重復性:±4%
線性精度: ±7%
截止波長:0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
評定長度:λc x 3,4,5,6,7
為了---追求功能與輕松操作,提供不依賴操作者、誰都可用來測量各種條件的工件的環境,畫面的自定義由低---的簡單畫面構成。東京精密輪廓儀分析程序是預想了未來的畫面大型化的布局設計。尤其是測量輪廓形狀時,除了考慮軟件的操作性外,還將支持測量本身的功能布局得方便---。
東京精密輪廓儀分析程序的功能有以下幾項:
1、工件功能
要把握起點和終點、壁面和谷底測量等部位時,在用測針測量肉眼難以看清的孔內部等時,可在測量前進行坐標,在測量畫面上確認,在畫面上起點和終點,決定要測量的范圍,因此測量不會失敗。
2、尺寸線自動輸出功能
只需預先選擇---要素的尺寸線,即可在計算的同時顯示尺寸線。此外,計算后也可進行尺寸線的添加移動、刪除。
3、光標形狀識別功能
東京精密輪廓儀將操作者任意創建的光標范圍重疊在形狀數據上,進行計算。以往2次鼠標的操作可通過1次拖動計算。
4、計算結果預覽功能
當自動計算功能off時,在重疊光標時顯示計算結果、尺寸線的預覽。因此可在確定計算結果前進行確認。此外,當設定了計算范圍自動放大時,可在預覽中確認到計算范圍放大的情況,因此,可事前防止計算、操作差錯。
5、可進行要素計算的圖標向導
要根據已計算的任意多個要素重新進行計算時,會可視化顯示可計算的要素。還可根據目的,憑直覺選擇復雜的要素間計算。