東莞市天測光學設備有限公司為您提供precis 200全新影像儀。全新的precis 200是基于micro-metric的innova晶圓量測系統開和發而來，采用了vmm 公司好的設計和技術。
, 新款precis 包含了很多可配置選項，使設備通用。
擴展了z軸范圍 – 2.5mm, 5mm/100mm
標準 可選
x,y,z行程(mm): 200 x 200 x 5 載重: 12 kg
xy精度: e1=(0.25+2l/1000)um
z 精度: e1=(0.25)um (with use of a 100x lens)
分辨率： 0.01 微米
視場測量精和度和重復性：0.01 μm (100x)
直流伺服馬達驅動
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