濟南創譜儀器有限公司為您提供手動探針臺測試晶圓憶阻器失效分析iv測試光電流測試mapping架探針座。產品信息：
在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了不需要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺chuck，真空吸附系統；
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到較好得使用效果。
技術參數：
◆模塊化設計，可以搭建不同構件完成不同測試
◆探針臺位移分辨率3μm，樣品xyzr四維調節
◆兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試
◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉和微調升降
◆漏電流精度：10pa/100fa屏蔽箱內
◆探針采用交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計
◆1微米以上電極/pad使用
◆加寬探針架，可以放置6個dc探針座/4個rf探針座
◆全系列搭配顯微鏡xy精密移動功能，可以選配多種位移行程以及驅動形式
◆多被用于科研院校搭建測試系統，例：材料電學測試系統、光電探測器光電響應系統、光電mapping測試系統、憶阻器與神經元系統等等
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