廊坊維納保溫材料有限公司為您提供rtp快速退火爐。rtp快速退火爐產品用途:
此款cvd生長系統適用于cvd工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、zno納米結構的可控生長、陶瓷電容(mlcc)氣氛燒結等實驗。
rtp快速退火爐產品組成:
此款cvd系統配置:
1.1200度開啟式真空管式爐(可選配單溫區、雙溫區)。
2.多路流量控制系統
3.真空系統(可選配中真空或高真空)
產品特點:
1 控制電路選用模糊pid程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能---,操作簡單。
2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司---的---設計,提高操作便捷性。
3 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。
rtp快速退火爐產品鏈接:
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