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真空機組中泵抽速的配合：
一般的高真空系統均須采用真空機組以獲得足夠高的真空。的真空機組為多級擴散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機械泵(作為前置泵)等串聯。在多泵串聯使用時，不但---真空要有一定的要求，抽速之間也應有合理的配合，以充分發揮各泵的效能。各泵之間的關系，可根據穩定流動下，流量恒定關系來確定。
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真空泵機組的使用注意事項：
1.真空泵機組中冷卻水的水溫不能超過40℃。
2.運行中真空泵體的表面溫度不能超過80℃。
3.當室外的氣溫在0℃以下且真空機組長時間不用時，應將冷卻水從進水口排出泵體。
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真空機組運行故障原因及解決方法：
振動大原因：
1、機座與基礎接觸---，地腳螺栓松動；
2、對中不好。
處理方法：
1、用混凝土填充底座空隙，擰緊地腳螺栓；
2、重新對中和鎖緊。
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