壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄或滲透風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24um線性膨脹,所以必須有±0。1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,-是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,凈化工程安裝,要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。而隨著凈化技術的發展,建設凈化車間的技術含量也越來越高,非人士不能也。除了在生產領域,凈化工程技術還會逐漸應用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,馬鞍山凈化工程,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在-集成電路生產的光刻-工藝中,凈化工程設計,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。而隨著凈化技術的發展,建設凈化車間的技術含量也越來越高。除了在生產領域,凈化工程技術還會逐漸應用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復,、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,手術室凈化工程,除配備產品工序要求的用室外,還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互獨立,凈化工程的面積應在-基本要求前提下,與生產規模相適應。