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凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展
對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種-已成為衡量一個(gè)和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。
凈化工程解決方案：各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同：如：淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，潔凈室工程，其特點(diǎn)是加濕量大、投資費(fèi)用低，而相對(duì)濕度控制精度較差，因此多用于相對(duì)濕度要求不嚴(yán)格(>;±10%)，加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。而相對(duì)濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對(duì)濕度精度要求嚴(yán)格的恒溫恒濕潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。
凈化工程中空氣凈化處理方案：
凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，潔凈室，均應(yīng)采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理，萬級(jí)潔凈室，可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。
空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，高1效空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便-，宜檢漏和更換;中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。
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