氣體靜壓的軸承在精密和超精密裝備中應用廣泛,比如集成電路生產設備、平面顯示器生產設備、半導體生產設備、電子生產設備、太陽能電池生產設備、新型元器件生產設備、檢驗和測量設備以及---機床等。
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空氣軸承(氣浮軸承)主要類型有:動壓氣浮軸承、靜壓氣浮軸承、壓膜軸承和其它類型氣浮軸承。
動壓氣浮軸承與液體動壓的軸承的支承原理相同,只是氣體可以壓縮,為可壓縮流體潤滑軸承。
靜壓氣浮軸承的作用原理同樣與液體靜壓的軸承相同。常用的節流器有小孔、狹縫和多孔質軸襯。高承載時也使用可變節流器。供氣壓力、節流器參數和軸承間隙三者,若匹配得當,可得到承載高、剮度大、流量小和工作穩定的軸承。
氣體潤滑軸承形成承載氣膜的機理與液體潤滑軸承相同,氣浮軸承,故分為氣體動壓的軸承和氣體靜壓的軸承。
氣體動壓的軸承:是利用氣體在楔形空間產生的流體動壓力來支承載荷的。常在軸頸或軸瓦的表面做出淺螺紋槽,利用槽的泵唧作用提高承載能力。氣體動壓螺旋槽推力軸承:為氣體動壓螺旋槽推力軸承。
氣體靜壓的軸承:氣體靜壓的軸承的供氣壓力一般不超過0.6兆帕。氣體通過供氣孔進入氣室,然后分數路流經節流器進入軸承和軸頸的間隙,再從兩端流出軸承,在間隙內形成支承載荷的靜壓氣膜。氣體靜壓的軸承的內孔表面一般不開氣腔,氣浮軸承報價,以增---膜剛度,提高穩定性。
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