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分子泵在半導體機械設備中的運用
在半導體材料生產加工加工工藝中，分子泵廣泛運用于光刻技術、塑料薄膜堆積機器設備、離子注入機器設備、離子注入機等主要設備。安捷倫 tv301分子泵維修
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光刻技術是生產制造規模性集成電路芯片的關鍵機器設備，生產制造和維護保養必須高寬比的電子光學和電子工業基本，全僅有數生產廠家把握，因而光刻機價格價格昂貴。光刻技術光刻技術全過程務必在高真空中完成，緣故是極紫外線很嬌氣，在空氣中非常容易耗損。另外，在光刻技術全過程中，機器設備的姿勢時間誤差以皮秒激光計，這對磁懸浮分子泵的震動值規定---。注：皮秒激光=兆分之一秒安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵特點
油潤滑分子泵：潤滑油脂量小，且在前面機械泵段，對真空設備空氣污染小。
脂潤滑分子泵：油脂量不大，前相互配合比干泵可獲得相近無油真空泵的清除機械泵。
全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起運用，可獲得無油真空泵的清除真空泵。安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵是應用高速運行的轉子把角動量傳輸給氣體分子式，安捷倫 tv301分子泵維修，使之獲得定項速度，從而被變小、被驅向排氣口后為前邊抽走的一種真空泵。安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵啟動的條件：
、啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度
、啟動時間：
同時啟動——小系統，防前級泵油上返。
---啟動——系統容積過大，先啟動前級泵，至系統壓強p=200pa時，啟動分子泵。
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傳動膠帶不用時，應把膠帶拆下，用溫水清洗擦干后保存在沒有陽光直接照射的地方，也不要存放在有油污、腐蝕物及煙霧的地方。無論在何種情況下，都不要使膠帶沾上機油、柴油或等油類物質，不要對膠帶涂松香和其他粘性的物質。膠帶在使用前，須清除膠帶接觸面的。
把所有螺釘、螺栓用鋼絲刷刷洗干凈，并涂上機油或浸在柴油中保存。
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