凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。
空氣過濾器的選用布1高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端，連云港車間凈化，高1效空氣過濾的安裝方式應簡便---，宜檢漏和更換；中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風量選用；阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。
確定集中或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。
凈化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高1效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。
送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇，光伏車間凈化，中效、高1效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。
凈化工程中凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。
凈化空氣調節系統設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量---且局部處理不能滿足衛生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。
凈化工程中使用的慣性除塵器 為了---重力沉降室的除塵效果，電子車間凈化，可在其中設置各種形式擋板.利用塵粒的慣性使其和擋板發生碰撞而捕集，這種除塵器稱為慣性除塵器。慣性除塵器的結構形式分為碰撞式和回轉式兩類。氣流在掩擊或方向轉變前速度愈高，方向轉變的曲率半徑愈小，則除塵效率愈高。
百葉窗式分離器也是一種慣性除塵器。含塵氣流進人錐形的百葉窗分離器后，大部分氣體從柵條之間縫隙流出。氣流繞出柵條時突然改變方向，通訊車間凈化，塵粒由于自身的慣性繼續保持直線運動.隨部分氣流(約5一20％)一起進入下部灰斗，在重力和慣性力作用下，塵拉在灰斗中分離。百葉窗分離器的主要優點是外形尺寸小.阻力比旋風除塵器小。
慣性除塵器主要用于捕集20~30μm以上的粗大塵粒，常用作凈化工程中多級除塵器的di一級除塵。
光學微電子凈化工程結構材料
1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強，圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環氧自流坪地坪或高1級耐磨塑
3、送回風管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型pf發泡塑膠板。
4、高1效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
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