旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)價(jià)格，對(duì)于要---密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國(guó)nist標(biāo)準(zhǔn)等。
真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档停瑫?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生飛片的情況，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)，還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
存儲(chǔ)器分為易失性存儲(chǔ)器和非易失性存儲(chǔ)器。
易失性存儲(chǔ)器分sram和dram；非易失性存儲(chǔ)器以nor-flash和nand-flash為典型代表。dramdram cell結(jié)構(gòu)由1個(gè)mos和1個(gè)電容組成，由電容是否帶電荷來區(qū)分0和1。不過，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)價(jià)格，由于電容漏電流的原因，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)多少錢，dram無法長(zhǎng)時(shí)間保存數(shù)據(jù)，需要“動(dòng)態(tài)”刷新刷新周期在亞ms級(jí)別。
1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機(jī)圖冊(cè)差很大，對(duì)于要---密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的大部分低端勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。他們?cè)矶际且粯拥模丛诟咚傩D(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
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