寧波培正電子科技有限公司為您提供半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀。半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀操作手冊(cè)
功能描述:
四探針組合雙電測(cè)量方法
液晶顯示,自動(dòng)測(cè)量,自動(dòng)量程,自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.
集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
選配:pc軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇
參照標(biāo)準(zhǔn):
1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)astm f84.
2.gb/t 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.
3.gb/t 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?
4.gb/t 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?
雙電組合測(cè)試方法:
利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試
半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀
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