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四探針方塊電阻測(cè)試儀 軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3寸大液晶屏幕顯示,
同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度 四探針方塊電阻測(cè)試儀
四探針電阻測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103ω/□
2.電阻率范圍:10-5~2×104ω-cm
3.測(cè)試電流范圍:10μa,100μa,1ma,10ma,100 ma
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式: 普通單電測(cè)量
四探針電阻測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)描述:
采用范德堡測(cè)量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差,提供通訊接口,pc軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn):
硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(astm f84)及---設(shè)計(jì)制造;gb/t 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、gb/t 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.
四探針電阻測(cè)試儀
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