成都超邁光電科技有限公司為您提供ebpvd復(fù)合鍍膜機(jī)。形式：箱式一體機(jī)，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，一體機(jī)系統(tǒng)。
真空系統(tǒng)：真空5x10-4pa，主泵為復(fù)合分子泵。
真空測(cè)量：配三路數(shù)字復(fù)合真空計(jì)，均采用安全防爆金屬測(cè)量規(guī)。
工件架系統(tǒng)。客戶需求定制，配置可擴(kuò)展4英寸、3英寸、2英寸基片的---互換工裝，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào)，工件盤為球形和行星工件盤可選，行星工件盤成本較高。
烘烤系統(tǒng)。不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和pid控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過(guò)沖不超過(guò)2℃。
電子束蒸發(fā)源。e型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)(e型)1套，主體有屏蔽罩，單槍、單電源、單掃描，配置獨(dú)立高壓控制柜。選配或必須配置
坩堝：坩堝1套，電動(dòng)轉(zhuǎn)位和點(diǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)位，配置無(wú)氧銅坩堝一套。
電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源。選配或主配
膜厚測(cè)試系統(tǒng)。配瑞士inficon石英膜厚在線測(cè)量系統(tǒng)， rs-232 和 usb兼容，匹配水冷膜厚探頭。選配
離子源:一套選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)
控制系統(tǒng)：成熟---的真空鍍膜控制系統(tǒng)，西門子工業(yè)級(jí)10英寸觸摸屏和plc，能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空、工轉(zhuǎn)烘烤、自動(dòng)充氣、自動(dòng)鍍膜、自動(dòng)冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程；支持半自動(dòng)和手動(dòng)等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動(dòng)報(bào)警和保護(hù)系統(tǒng)，采用聲光報(bào)警。
說(shuō)明：根據(jù)用戶要求，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā)，共享---，公司致力于工藝與設(shè)備---匹配
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