成都超邁光電科技有限公司為您提供電磁耦合磁控濺射鍍膜機。設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統，可根據客戶使用需求定制。
真空腔體：φ900x1050，雙層水冷；可根據實際需求定制
真空系統：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統；
真空抽速：4000-7000l/s，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規；
磁控靶組件：4個矩形靶，4個圓柱靶，根據客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
離子源：2套線性離子源，匹配---電源；
氣路：4路反應氣體，進口流量計，1路毛細保護氣路；
烘烤溫度：400℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結構；
工件盤：導軌多工位行星工件盤2套標準配置為12工位和24工位，可擴展數百件工件共同沉積，工件盤裝夾移動小車一輛；
控制系統：西門子plc+西門子人機界面+工業控制計算機。
---說明：該設備為公司與中科院某所合作研制，獲得---科技進步、---科技發明獎、機械工業科技進步一等獎和中科院重大設備專項等-，公司提供一攬子技術解決方案，同時與合作伙伴共享---。
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